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海外取扱製品

近年の多様かつ高品質な薄膜形成技術の進展に伴い、プラズマ発振用電源におけるアーク制御の高機能化、大容量化及び安定性等がより求められております。
TRUMPF Huettinger GmbH + Co.KG(トルンプ ヒュティンガ) は長年に渡る実績と豊富な経験から、それらを解決する思想及び技術を蓄積してきました。さらに、最近では業界最高峰のエネルギー効率(最大85 %)を誇るRF電源を開発し、環境負荷の低減にも大きく貢献することが可能になりました。

用途

・スパッタリング各種
・PE-CVD等

※バイポーラ電源による膜質改善及びHIPIMS用電源(最大電流4kA)によるハードコーティングが注目です。

製品

ソフトウェア:TruControl Power(RF電源)

  周波数(Hz) 出力(kW)
DC電源 - 2-180
DCパルス電源1) 2k-100k 5-20
バイポーラ電源 0-100k 5-30
MF(中波)電源 20k-100k 10-200
RF(高周波)電源 13.56M 24
HIPIMS電源 20k-50k 1000-8000
アーク電源 - 80-200
バイアス電源 - 3-48

1)2014年発売予定

特徴

アーク制御画面(RF電源)

・業界最速のアーク遮断機能
・高いエネルギー効率
・アークエネルギー抑制機能
・コンパクト設計
・多様なインターフェース
・扱いやすいGUI

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