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海外取扱製品

PSM社のプラズマは、高い性能により様々な用途に使用されております。
半導体のパッケージング、ダイボンダー、ワイヤーボンダー工程やディスプレイのドライクリーニング、またガラスやプラスティック等、様々な表面処理プロセスにおいて活躍をしております。

用途

フラットパネルディスプレイ

・TFT-LCD、OLED及びPDPパネル向けAP洗浄システム
・大気圧プラズマアッシング、ウェットウェッチング前処理&ディスカム工程向け

半導体

・パッケージング、PCB及びフィルム分野向けAPプラズマ表面処理システム
・半導体やPCB基板へのインライン真空プラズマシステム
・PLASMA SYSTEM for Mold Die Chase Cleaning

太陽電池/諸材料

・ガラスソーラーセルAPプラズマ洗浄システム
・Roll to Rollフレキシブル基板のAPプラズマ表面処理システム

プリント電子部品

・Roll to Rollプリントプロセス対応のAPプラズマシステム

大気圧プラズマのメリット

・接着力の改善 微細パターン可能
・No Micro Void Cu PCB
・環境親和的な洗浄(ドライ洗浄)
・簡単な工程と低価格
・インライン工程対応
・ダメージ無し(No ESD)

PSM社のプラズマは特別な設計をされた放電電極により、大気圧にてプラズマの生成が可能です。大気圧のため、処理物へのダメージが無く、さらにプラズマのモジュールのサイズは小型の70mmの物から大型の1000mmを超える物までお客様のニーズに合わせた設計が可能です。そのため、お客様の既存装置のスペースを利用し搭載することによりスループットを損なうことなく効果を得ることができます。

PSM社では、大気圧プラズマの他に真空プラズマ装置も製造しています。

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