TOP  >  新製品紹介

CONTENTS APPEXの強み 自動制御機器(半導体製造装置) 海外取扱製品 真空機器 映像・光学機器 監視システム 生産拠点 メンテナンス FAQ 会社情報 CSR 採用

アペックスは最先端の優れた自動制御機器、真空機器、映像機器を世界各国から御紹介します。機器の販売のみでなく、カスタマイズ、設置、メンテナンスなどをトータルにご提供。お客様の生産活動をサポートします。

New Products

ASM 340シリーズは、メンテナンスから少量生産環境まで、さまざまな用途での真空リーク検出およびスニファーリーク検出において最高の性能を約束します。定性的なリーク箇所特定と定量的なグローバルテストまたはローカルテストに使用できる、信頼性の高いリークディテクターです。

特 長

・クラス最短のテスト時間を実現。
・大容量補助ポンプにより、あらゆる用途に対応。
・ 高いヘリウムポンピング速度により、短い応答時間を実現。
・ 100 hPa(104Pa)以上という類を見ないリーク検出能力。
・ 5×10-10Pa m3/sというヘリウム最小検出可能リークレートにより、スニファーテストモードで優れた結果を得ることが可能。
・ 記録、ダウンロード、およびパラメーターの設定を行うSDメモリカードを内蔵。
・ 取り外し可能なカラーコントロールパネル。
・ 使い易くカスタマイズ可能なインターフェース。
・ すべてのI/O機能とProfibus通信機能を備えています。(オプション)

用 途

・研究開発・宇宙産業
・機械工学・計測分野
・冷蔵庫・空調
・半導体産業・その他多数

仕 様

ASM340 ASM340D ASM340I
粗びきポンプ 油回転ポンプ ダイヤフラムポンプ
粗びきポンプ排気速度 15m3/h 3.4m3/h
最大消費電力 850W 600W 350W
供給電力 90-130V、50/60Hz
200-240V、50/60Hz
90-240V、50/60Hz 90-240V、50/60Hz
重量 56kg 45kg 32kg
使用環境温度 0-45℃(真空法)
0-40℃(スニファー法)
0-35℃ 0-40℃
テストポートフランジ DN25KF(NW25)
測定方法 真空法、スニファー法
測定可能ガス 4He、3He、H2
最少検知可能リークレート(スニファー法) 5×10-10Pa・m3/s
最少検知可能リークレート(真空法) <5×10-13Pa・m3/s
ヘリウム排気速度 2.5l/s
最大テストポート圧力 25hpa
立上り時間(20℃、校正なし) ~3分
I/Oインターフェース デジタル・アナログI/O、Relays
インターフェース RS232、イーサネット
対応言語 日本語、中国語、韓国語、英語、フランス語、ドイツ語、イタリア語、スペイン語、ロシア語
寸法 393×547×375mm

小型!軽量!高感度!ドライ!の4つのコンセプトにより開発された、アディクセンシリーズ内、最軽量の新世代ヘリウムリークディテクタです。

特 長

小型 狭いスペースでのリークテストに最適 
軽量 重量:21kg 最軽量 
高感度 このサイズで10-13Pa.m3/secの高感度
ドライ 粗引きポンプが小型ドライポンプを搭載しているため、クリーンな環境でのテストが可能 
操作性 グラフ(チャート)、He、H2設定、言語、設定条件を容易にカスタマイズ可能 
データをSDカードに保存可能

用 途

・各種真空装置
・研究開発ラボシステムのメンテナンス
・ガス配管
・クリーンな環境での運転(宇宙・航空産業、医療、食品工業等)

仕 様

最小検出ヘリウムリーク量(真空法) 5x10-13Pa.m3/sec
最小検出ヘリウムリーク量(スニファ法) 1x10-8Pa.m3/sec
最高テスト圧力(真空法) 1500Pa
ヘリウム排気速度(真空法) 1.1L/sec
寸 法 350×450×245(mm)
重 量 21kg
内蔵機能 自動校正(温度補償付き内部校正リークによる)
自動ゼロ機能(信号がゼロにならないように「浮動ゼロ」方式を採用)
自動信号補正(外部校正または手動調節補正係数)
3つの真空テスト方法(多量リーク、ノーマル、高感度)
可変ピッチの音響アラーム
音声ガイド
故障の際の自己診断機能
インターフェイス
3mass(He4、He3、H2)
カラータッチパネルディスプレイ(リモコンコントロール)
アクセサリー 追加リモートコントロール
移動カート
移動ケース

アディクセンの第3世代リークディテクタに強力なモデルが加わりました。
ASM380は、あらゆる測定レンジにおいて、早く正確なリークテストをお約束します。小さなフットプリントのボディに高いドライポンピング性能、高感度、機動性を装備。
オイルフリーでクリーンなASM380は、わずかな汚染も許さないクリーン環境における装置メンテナンスや製品のリーク検査を行うためのパーフェクトチョイスです。

特 長

・操作性抜群のプラットフォームに詰め込まれた、パワーと機動性
・大きなドライ排気能力(617L/min)
・比類なきヘリウム排気能力(7L/s)
・360°回転可能なカラータッチパネルディスプレイ
・簡単操作!直感的なナビゲーションメニュー
・SDカードスロット搭載。測定結果や各種パラメータの記録と再生
・メンテナンスコストを抑える新設計ターボポンプとフィラメントを搭載

用 途

・LED
・半導体
・太陽電池
・フラットパネルディスプレイの製造装置
・医療機器
・コーティング
・その他一般産業のリークテスト

仕 様

最小検出ヘリウムリーク量(真空法) 5x10-13Pa.m3/s
最小検出ヘリウムリーク量(スニファ法) 1x10-8Pa.m3/s
最高テスト圧力(真空法) 1500Pa
ヘリウム排気速度(真空法) 7L/s
寸 法 1065×455×1025(mm)
重 量 110kg
吸気口サイズ NW40 ISO-KF
電源 90-240VAC-50/60 Hz
主な機能 自動校正(温度補償付き内部校正リークによる)
オートゼロ機能
バックグランド抑制機能
3段階の真空測定モード(グロス、ノーマル、高感度)
可変ピッチ音響アラーム
9ヶ国音声ガイド
自己診断機能
RS232及びI/Oインターフェース
3mass(He4,He3,H2)
カラータッチパネル(360°回転可)

半導体製造におけるハーシュプロセスは、常に真空ポンプにとって大いなる挑戦でした。A4シリーズは、実績のある高効率多段ルーツ式技術により、排気速度100~2300m3/hのラインアップのドライポンプによる幅広い解決策をご提案します。従来のプロセスポンプに比べ、腐食と副生成物への耐性が大幅に向上し、最先端の20nm以下のテクノロジーノードへの適応が可能です。A4シリーズは、低消費電力によるプロセス寿命の延長が図れ、コストの大幅な削減が可能です。

特 長

・多段ルーツ式技術や、高効率モータと電気ヒータの限定的使用による高エネルギー効率
・広範囲の使用温度環境により、クラックの前兆や凝縮性堆積からポンプを保護します
・耐腐食性材の使用によるポンプ寿命の向上
・高い信頼性によるコスト削減
・高い粉塵への耐性により、稼働時間の向上
・様々な機能モニタリングによるポンプコンディションの適切な把握
・Semi S2規格とUL規格に適合

用 途

・半導体(CVD、エッチングなど)
・コーティング

仕 様

A124H A604H A1204H
最大排気速度N2 110m3/h 560m3/h 1150m3/h
最大到達圧力(パージ無) 2×10-2hPa 2×10-3hPa 1×10-3hPa
最大到達圧力(パージ50slm) 1×10-1hpa 6×10-3hPa 6×10-3hPa
最大連続流入量(最大回転時) 80slm 60slm 55slm
入力電圧 200-230V/380-480V、3相±10%、50/60Hz
消費電力(最高到達圧力時、排気加熱無) 1.5kW 2.0kW 2.3kW
最大排気過圧 1200hpa 1200hPa 1200hPa
冷却水流量 2-3l/mn 2.5-4l/mn 2.5-4l/mn
冷却水温度 10-35℃ 10-35℃ 10-35℃
冷却水接続口 3/8NPT 3/8NPT 3/8NPT
N2流量 10-120slm 10-120slm 10-120slm
使用温度範囲 5-40℃ 5-40℃ 5-40℃
インレットフランジ DN50ISO-KF DN100ISO-K DN160ISO-k
排気フランジ DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF
外形寸法(奥行×幅×高さ) 962×388×578mm 962×388×775mm 962×388×911mm
重量 250kg 370kg 530kg
最大振動(インレットフランジにて) <0.1g/1.5mm/s <0.1g/1.5mm/s <0.1g/1.5mm/s
最大騒音(最大到達圧力時) <65dB(A) <68dB(A) <69dB(A)
A204H/A204X A804H/A804X A1504H/A1504X A1804H/A1804X A24092H/A2404X
160m3/h 700m3/h 1200m3/h 1700m3/h 2300m3/h
5×10-2hPa 4×10-3hPa 4×10-3hPa 4×10-3hPa 4×10-3hPa
2×10-1hPa 9×10-3hPa 9×10-3hPa 9×10-3hPa 9×10-3hPa
150slm 100slm 100slm 70slm 30slm
200-230V/380-480V、3相±10%、50/60Hz
1.8kW 2.6kW 2.6kW 2.6kW 2.6kW
1200hPa 1200hPa 1200hPa 1200hPa 1200hPa
2-4l/mn 2.5-5l/mn 2.5-5l/mn 2.5-5l/mn 2.5-5l/mn
10-35℃ 10-35℃ 10-35℃ 10-35℃ 10-35℃
3/8NPT 3/8NPT 3/8NPT 3/8NPT 3/8NPT
10-120slm 10-120slm 10-120slm 10-120slm 10-120slm
5-40℃ 5-40℃ 5-40℃ 5-40℃ 5-40℃
DN50ISO-KF DN100ISO-K DN160ISO-k DN160ISO-k DN160ISO-k
DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF
962×388×578m 962×388×775m 962×388×911m 962×388×911m 962×544×911m
260kg 380kg 540kg 540kg 640kg
<0.1g/1.5mm/s <0.1g/1.5mm/s <0.1g/1.5mm/s <0.1g/1.5mm/s <0.1g/1.5mm/s
<65dB(A) <68dB(A) <69dB(A) <69dB(A) <69dB(A)

アディクセンの多段ルーツテクノロジーが、非常に小型ながら幅広い排気速度100~1000㎥/h、高い信頼性をもつ低ノイズ・低ランニングコストのドライポンプを実現しました。従来のタイプに比べ最大50%の省エネ効果をもたらします。

特 長

低ランニングコスト

・省エネ設計による低ランニングコスト

設置スペースの削減、軽量、簡易設置

・コンパクトデザイン ミディアム・プロセスにおいて高い信頼性を発揮
・多段ルーツテクノロジー採用
・温度制御およびパージ機能を搭載
・耐食性

半導体製造工場の要件に適合

・低ノイズ・低振動 ・CEおよびSemi S2-0706準拠

代表的なアプリケーション

・以下をはじめとする半導体ミディアム・プロセスアプリケーションに対応

・エッチング(酸化およびポリ)
・ドライエッチング(RIE/Ashing)
・ストリップ(除去・洗浄工程)
・RTP
・インプラ

仕 様

項目 単位 A103P A603P A1003P
ピーク排気速度
(50/60Hz)
m3/h 120 570 900
l/min 2,000 9,500 15,000
到達真空
(N2パージを除く)
Pa 5×10-1 2×10-2
mbar 3×10-3 3×10-4
到達真空
(20 SLM N2パージ)
Pa 2 7.5×10-2
mbar 2×6-2 1×10-3
消費電力:到達真空 kW 1.0 1.3~1.6
消費電力:モーター定格 kW 2.5 4.7 5.0
電源 V 200~208/380~480、3相、50/60Hz
冷却水接続 1/4 NPT クイックコネクト
冷却水温度 10~25
冷却水流量 l/h 90
N2パージ流量範囲 SLM 5~60
平均ノイズレベル dBA <58 <65 <65
外形寸法(長さ×幅×高さ) mm 684×310×323 684×342×662
重量 kg 125 270
吸気/排気口 ISO-K/KF NW50/NW25 NW100/NW25

Copyright © 2013 APPEX CORPORATION All Rights Reserved.

アペックス株式会社 〒106-0031 東京都港区西麻布3-21-20 霞町コーポ 310号
TEL:03-3478-3536 FAX:03-3402-4838

トップ
APPEXの強み
・海外メーカーとの交渉力
・幅広い分野をカバーする設計力
・豊富な開発実績
・複数生産拠点を有する製造力
・熟練技術者によるメンテナンス・サービス
・海外メーカー取扱製品
・取扱ジャンル実績
会社情報
・会社概要/沿革/組織図
・営業拠点
CSR
・(コーポレートガバナンス/環境方針)
採用
プライバシーポリシー
サイトポリシー
PROBLEMS & SOLUTIONS
・海外メーカーの機器を導入したいがメンテナンスが心配
・コアテクノロジーを装置化したい
・海外メーカー製機器のカスタマイズをしたい
新製品紹介
自動制御機器(半導体製造装置)
・用語解説
海外取扱製品
・obducat
・FOGALE
・PSM
・UniJet
・DELO
・CN1
・CANTOPS
真空機器
・ヘリウムリークディテクタ
ASM310
ASM380
ASM340
ASM182/192シリーズ
ASM102S
・真空ポンプ
ACP Series 2
ACP 120シリーズ
A4シリーズ
A100L
A3P シリーズ
パスカルシリーズ
アクセサリー
・保守・サービス
・お問い合わせフォーム
映像・光学機器
・キヤノンレンズ
・放送用三脚
・デフロスタガラス/ヒーターガラス
・放送用中古機材
・購入問合せフォーム
・販売情報
・買取査定問合せフォーム
・買取情報
監視システム
・Milestone Systems社XProtectシリーズ
生産拠点
メンテナンス
FAQ