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真空機器

ポンプをインテグレーションすると装置が変わります

特 長

製造装置の中、あるいは近傍(クリーンルーム内)に設置できます。

・長い配管の設計・施工が不要になります。

低騒音・低振動

・クリーンルーム、グレイエリアに設置可能です。2段に重ねることも可能です(A100のみ)。

可変スピードコントロール

・最適な排気能力と消費電力を実現、また調整機能部品(ソフトスタート、スロットルバルブ等)が不要になります。

高信頼性・高安全性

・SEMI S2、CEに適合した、豊富なフィールド実績をもつ、アディクセン独自の多段ルーツ構造です。
・低消費電力タイプ(ESバージョン)

代表的なアプリケーション

A100L
クリーンプロセス用途
パージガスは流せません

・ロードロック
・搬送チャンバー
・PVDスパッタリング

仕 様

A100L A100L ES
ピーク排気速度 m3/h 50/60Hz 100 100
l/min 50/60Hz 1666 1666
吸気口/排気口 NW50/25 NW50/25
全体寸法(長さ×幅×高さ/mm) 600×280×300 600×280×300
重量(kg) 100 100
消費電力※ 1.6kw <0.8

※到達真空時

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アペックス株式会社 〒106-0031 東京都港区西麻布3-21-20 霞町コーポ 310号
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