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真空機器

Adixen(アディクセン)の多段ルーツテクノロジーが、非常に小型ながら幅広い排気速度100~1000㎥/h、高い信頼性をもつ低ノイズ・低ランニングコストのドライポンプを実現しました。従来のタイプに比べ最大50%の省エネ効果をもたらします。

特 長

低ランニングコスト

・省エネ設計による低ランニングコスト

設置スペースの削減、軽量、簡易設置

・コンパクトデザイン ミディアム・プロセスにおいて高い信頼性を発揮
・多段ルーツテクノロジー採用
・温度制御およびパージ機能を搭載
・耐食性

半導体製造工場の要件に適合

・低ノイズ・低振動 ・CEおよびSemi S2-0706準拠

代表的なアプリケーション

・以下をはじめとする半導体ミディアム・プロセスアプリケーションに対応

・エッチング(酸化およびポリ)
・ドライエッチング(RIE/Ashing)
・ストリップ(除去・洗浄工程)
・RTP
・インプラ

仕 様

項目 単位 A103P A603P A1003P
ピーク排気速度
(50/60Hz)
m3/h 120 570 900
l/min 2,000 9,500 15,000
到達真空
(N2パージを除く)
Pa 5×10-1 2×10-2
mbar 3×10-3 3×10-4
到達真空
(20 SLM N2パージ)
Pa 2 7.5×10-2
mbar 2.6×10-2 1×10-3
消費電力:到達真空 kW 1.0 1.3~1.6
消費電力:モーター定格 kW 2.5 4.7 5.0
電源 V 200~208/380~480、3相、50/60Hz
冷却水接続 1/4 NPT クイックコネクト
冷却水温度 10~25
冷却水流量 l/h 90
N2パージ流量範囲 SLM 5~60
平均ノイズレベル dBA <58 <65 <65
外形寸法(長さ×幅×高さ) mm 684×310×323 684×342×662
重量 kg 125 270
吸気/排気口 ISO-K/KF NW50/NW25 NW100/NW25

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