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真空機器

半導体製造におけるハーシュプロセスは、常に真空ポンプにとって大いなる挑戦でした。 A4シリーズは、実績のある高効率多段ルーツ式技術により、排気速度100~2300m3/hのラインアップのドライポンプによる幅広い解決策をご提案します。 従来のプロセスポンプに比べ、腐食と副生成物への耐性が大幅に向上し、最先端の20nm以下のテクノロジーノードへの適応が可能です。 A4シリーズは、低消費電力によるプロセス寿命の延長が図れ、コストの大幅な削減が可能です。

特 長

・多段ルーツ式技術や、高効率モータと電気ヒータの限定的使用による高エネルギー効率
・広範囲の使用温度環境により、クラックの前兆や凝縮性堆積からポンプを保護します
・耐腐食性材の使用によるポンプ寿命の向上
・高い信頼性によるコスト削減
・高い粉塵への耐性により、稼働時間の向上
・様々な機能モニタリングによるポンプコンディションの適切な把握
・Semi S2規格とUL規格に適合

用 途

・半導体(CVD、エッチングなど)
・コーティング

仕 様

A124H A604H A1204H
最大排気速度N2 110m3/h 560m3/h 1150m3/h
最大到達圧力(パージ無) 2×10-2hPa 2×10-3hPa 1×10-3hPa
最大到達圧力(パージ50slm) 1×10-1hpa 6×10-3hPa 6×10-3hPa
最大連続流入量(最大回転時) 80slm 60slm 55slm
入力電圧 200-230V/380-480V、3相±10%、50/60Hz
消費電力(最高到達圧力時、排気加熱無) 1.5kW 2.0kW 2.3kW
最大排気過圧 1200hpa 1200hPa 1200hPa
冷却水流量 2-3l/mn 2.5-4l/mn 2.5-4l/mn
冷却水温度 10-35℃ 10-35℃ 10-35℃
冷却水接続口 3/8NPT 3/8NPT 3/8NPT
N2流量 10-120slm 10-120slm 10-120slm
使用温度範囲 5-40℃ 5-40℃ 5-40℃
インレットフランジ DN50ISO-KF DN100ISO-K DN160ISO-k
排気フランジ DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF
外形寸法(奥行×幅×高さ) 962×388×578mm 962×388×775mm 962×388×911mm
重量 250kg 370kg 530kg
最大振動(インレットフランジにて) <0.1g/1.5mm/s <0.1g/1.5mm/s <0.1g/1.5mm/s
最大騒音(最大到達圧力時) <65dB(A) <68dB(A) <69dB(A)
A204H/A204X A804H/A804X A1504H/A1504X A1804H/A1804X A24092H/A2404X
160m3/h 700m3/h 1200m3/h 1700m3/h 2300m3/h
5×10-2hPa 4×10-3hPa 4×10-3hPa 4×10-3hPa 4×10-3hPa
2×10-1hPa 9×10-3hPa 9×10-3hPa 9×10-3hPa 9×10-3hPa
150slm 100slm 100slm 70slm 30slm
200-230V/380-480V、3相±10%、50/60Hz
1.8kW 2.6kW 2.6kW 2.6kW 2.6kW
1200hPa 1200hPa 1200hPa 1200hPa 1200hPa
2-4l/mn 2.5-5l/mn 2.5-5l/mn 2.5-5l/mn 2.5-5l/mn
10-35℃ 10-35℃ 10-35℃ 10-35℃ 10-35℃
3/8NPT 3/8NPT 3/8NPT 3/8NPT 3/8NPT
10-120slm 10-120slm 10-120slm 10-120slm 10-120slm
5-40℃ 5-40℃ 5-40℃ 5-40℃ 5-40℃
DN50ISO-KF DN100ISO-K DN160ISO-k DN160ISO-k DN160ISO-k
DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF
962×388×578m 962×388×775m 962×388×911m 962×388×911m 962×544×911m
260kg 380kg 540kg 540kg 640kg
<0.1g/1.5mm/s <0.1g/1.5mm/s <0.1g/1.5mm/s <0.1g/1.5mm/s <0.1g/1.5mm/s
<65dB(A) <68dB(A) <69dB(A) <69dB(A) <69dB(A)

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アペックス株式会社 〒106-0031 東京都港区西麻布3-21-20 霞町コーポ 310号
TEL:03-3478-3536 FAX:03-3402-4838

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・幅広い分野をカバーする設計力
・豊富な開発実績
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