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真空機器

半導体用途での実績を活かし、その他の産業向けに新しいドライポンプを販売開始いたしました。

特 長

・粒子汚染がない
・ACP120
・消費電力が少ない
・安定した性能
・高い信頼性
・低いメンテナンスコスト
・コンパクト設計

用 途

・標準タイプ 非腐食性ガス用途

ガラスコーティング
冶金
一般排気
ルーツポンプの粗引き用に
凍結乾燥
R&D
リークディテクションシステム

・パージ付タイプ

微量の腐食性ガスの排気に特に設計されており、ベアリング保護の不活性ガスパージ機能付です。

仕 様

ACP120 ACP120C
排気速度(50/60Hz) 95/112m3/h
最高連続吸気口圧力 30000Pa
入力電圧 200/208V、380/415V
吸気口/排気口 NW50/NW40
全体寸法(奥行き×幅×高さ) 840×370×505㎜
重量 205Kg

※排気速度をさらに必要とするお客様にはルーツポンプと組み合わせた排気ユニットもご提供しております。

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アペックス株式会社 〒106-0031 東京都港区西麻布3-21-20 霞町コーポ 310号
TEL:03-3478-3536 FAX:03-3402-4838

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