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真空機器

完全オイルフリーでクリーンな次世代コンパクトドライ真空ポンプです。高レベルのクリーン度と高い信頼性が求められる用途に最適です。

特 長

・粒子汚染がない
・炭化水素ガスの逆流がない
・安定した性能
・高い信頼性
・低いメンテナンスコスト
・コンパクト設計
・空冷
・リモートコントロール可能
・22,000時間メンテナンスフリー

用 途

・標準タイプ

分析機器(電子顕微鏡、表面分析、リークディテクタ、表面分析)
R&D(粒子加速器、研究室用途)
工業用途(特殊電球製造)
クリーンプロセスのロードロック

・パージ付タイプ

プロセスモニタリング
収束イオンビーム
ロードロック、搬送チャンバー

仕 様

ACP15 ACP15G ACP28 ACP28G ACP40 ACP40G
排気速度 14m3/h(230l/min) 27m3/h(450l/min) 37m3/h(610l/min)
最高連続吸気口圧力 大気圧
入力電圧 100~230V 50/60Hz
吸気口/排気口 NW25/NW16 NW25/NW25 NW40/NW25
全体寸法(奥行き×幅×高さ) 514×190×270mm 647×193×322mm
重量 23kg 30kg 32kg

※排気速度をさらに必要とするお客様にはルーツポンプと組み合わせた排気ユニットもご提供しております。

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アペックス株式会社 〒106-0031 東京都港区西麻布3-21-20 霞町コーポ 310号
TEL:03-3478-3536 FAX:03-3402-4838

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