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真空機器

半導体産業用に先進のドライポンプ 全てのプロセス向けに設計

アディクセンの新しいプロセスポンプADP122P、ADS602P、ADS1202Pは過酷なプロセスを含む全ての半導体プロセス向けに、信頼性のある真空を作り出します。アディクセンの実証済5段ルーツ設計により、選択可能な高温度でのポンプ作動を可能とし、生成物の内部デポを防ぎます。
さらに過酷な状況で使用されることを考慮し、より"HARSH"タイプを販売開始いたします。

特 長

・不測のダウンタイムを提言する高い信頼性
・オーナーの全般的なコスト(COO)を低減
・工場の効率的なレイアウトのためのコンパクト設計

代表的なアプリケーション

ADP122LM
ADS602LM
ADP122P/ADS602P
ADS602H/ADS1202H
クリーンプロセス用途
パージガスは流せません
軽/中程度プロセス用途
標準品で正確な流量コントロール
と温度管理が可能です
過酷なプロセス向け
標準で左記に加え、排気口の
ヒーティング、腐食に強い特別な
材質を使用しております
・ロードロック
・搬送チャンバー
・PVDスパッタリング
・アッシング
・ストリッピング
・ポリエッチ
・イオンインプラ・中程度のCVD
・PECVD
・LPCVD

仕 様

ADP122LM ADP122P
ピーク排気速度 m3/h 50/60Hz 95/122 Hモデルはございません。
l/min 50/60Hz 1583/1867
電圧 200/480V
吸気口/排気口 NW50/40
全体寸法(長さ×幅×高さ/mm) 830×390×580
重量(kg) 243
ADS602LM ADS602P ADS602H
ピーク排気速度 m3/h 50/60Hz 560/580
l/min 50/60Hz 9333/9667
電圧 200/480V
吸気口/排気口 NW100/40
全体寸法(長さ×幅×高さ/mm) 830×390×875
重量(kg) 340
ADS1202H
ピーク排気速度 m3/h 50/60Hz LMモデルはございません。 1050/1150
l/min 50/60Hz 17500/19167
電圧 200/480V
吸気口/排気口 NW100/40
全体寸法(長さ×幅×高さ/mm) 995×390×985
重量(kg) 522

※さまざまな仕様にあわせたオプションを用意しております

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