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真空機器

すべての要求の解決策となるプロダクションライン向け高性能ヘリウムリークディテクタ。比類なき排気能力が実感できます。
ASM182TD+、ASM182Tはタッチパネルタイプを選択できるようになりました。

特 長

高性能

・5×10-13Pa.m3/sの感度を誇る大きなヘリウム排気速度により超高速応答時間を実現
・大きな粗引き速度
・復帰時間が早い

高信頼性

・テスト結果の再現性
・簡単なメンテナンス
・堅牢な設計

フレキシビリティ

・限られたフットスペースに対応するコンパクトモデルのASM182シリーズと、大きなチャンバーのリークチェックに対応するコンソールモデルのASM192シリーズをご用意

ドライタイプに限りクリーンな環境

・100%ハイドロカーボンフリー
・市場でもっともクリーンなリークディテクタ
 (ルーツ型ドライポンプを採用しているため、オイルフリーでパーティクルレス!)
・クリーンルーム対応

用 途

・半導体産業
(プロセスチャンバー、ロードロック、真空システムの保守、ガスパネルとその配管、マスフローコントローラー)
・医薬・製薬
(カテーテル、血液フィルター、ペースメーカー、密封包装、ブリスターパッケージ)
・原子物理研究開発
(粒子加速器の真空及び粒子ビーム用配管、極低温配管と容器、真空バルブと構成部品、真空システムと計測器、加速器、コンテナ)
・計測
(RGA、ガス分析、レーザー、計測分析、電子顕微鏡)
・エレクトロニクス
(密封パッケージのIC、液晶表示器、水晶表示器、ハイブリッドサーキット、ファイバーオプティクス)
・包装工業
(医薬品の密封包装、食品包装、食品容器、食品飲料缶、ドラム缶類)
・自動車・自動車部品工業
(エアコンのコンプレッサー、蒸発器とその配管、ABSバルブとその配管、エアバッグ、インフレ-ター、イグナイター、燃料タンク、熱交換器、ギアボックス、ショックアブソーバー、バッテリー、リム、シールドビームランプ)
・宇宙・航空
(衛星、燃料タンク、ウィンドウシールシステム、エンジン噴射バルブ、ポンプ、油圧部品、酸素配管)
・電気
(ランプ、管球製造、光電子倍増管、高電圧リレー、回路遮断機、トランス、地中ケーブル、配管システム、発電所の保守、発電機、熱交換器)
・化学・機械
(リザーバー、貯蔵容器、輸送管、炉、人工環境、真空システム、凍結乾燥炉、消火器)
・冷凍・空調
(コンプレッサー、蒸発器、熱交換器、配管、ドライヤー、冷凍/空調設備全体)

仕 様

ASM182TD+ ASM192TD+ ASM192T2D+ ASM182T ASM192T ASM192T2
最小検出ヘリウムリーク量 5x10-13Pa.m3/s 5x10-13Pa.m3/s
ヘリウム排気速度
(吸気口にて)
4.4l/sec 20l/sec 4.4l/sec 20l/sec
標準粗引システム 25m3/h 20m3/h
ルーツ型
ドライポンプ+
モレキュラ
ドラッグ
ポンプ
ルーツ型
ドライポンプ+
モレキュラ
ドラッグ
ポンプ
(ドライポンプ
追加搭載可能)
ルーツ型
ドライポンプ+
モレキュラ
ドラッグ
ポンプ
ターボポンプ
(ドライポンプ
追加搭載可能)
ロータリー
ポンプ
ロータリー
ポンプ
(ロータリー
ポンプ
追加搭載可能)
ロータリー
ポンプ+
ターボポンプ
(ロータリー
ポンプ
追加搭載可能)

※ヘリウム排気速度と内蔵ターボポンプの排気速度は異なるものです。
ヘリウム排気速度は、応答時間、クリーンアップ時間に影響します。
(大きいほど、早くなります)他社製品との比較の際には、ご留意ください。

内蔵機能 自動校正(温度補償付内部校正リークによる)
自動ゼロ機能(信号がゼロにならないように「浮動ゼロ方式を採用)
自動信号補正(外部校正または手動調節補正機能)
可変ピッチの音響アラーム
音声ガイド
故障の際の自己診断機能
リモートコントロールユニット(ASM182TD+、ASM182Tはオプション)
インターフェイス
オプション・ アクセサリー メタルシールオプション
3マスオプション
スニファプローブ
専用カート
タッチパネルディスプレイ(ASM182TD+、ASM182Tのみ)

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TEL:03-3478-3536 FAX:03-3402-4838

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・幅広い分野をカバーする設計力
・豊富な開発実績
・複数生産拠点を有する製造力
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