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真空機器

現在、アペックスは製品・部品販売、保守サービスをメインに行っておりましたが、2014年7月よりヘリウムリークディテクタのレンタルを開始いたしました。

概 要

今回、レンタルを開始するASM310は、真空ポンプを搭載しており、検査対象を直接吸気口に接続することで、真空状態にし、一般的な検査方法である真空法(スプレー法)のリークテストが可能です。
また、検査対象をヘリウムで加圧し、外に漏れてきたヘリウムを検出する加圧法(スニファー法)も別途、オプションのスニファープローブを接続することでリークテストが可能です。

特 長

・重量が21㎏と業界では最軽量で、高性能。
・粗引ポンプがドライポンプを内蔵しているため、クリーンルーム内でのご使用も可能。
・大画面でカラーディスプレイ、タッチパネルと操作性も簡易。
・データ収集も本体内部に搭載されているSDカードに記録が可能。

仕 様

最小可検ヘリウムリーク量(真空法) 5x10-13Pa.m3/sec
最大吸気口圧力(真空法) 1500Pa
粗引ポンプ排気速度(真空法) 1.7m3/h(30L/min)
最小可検ヘリウムリーク量(スニファ法) 1x10-8Pa.m3/sec
応答速度(スニファ法) <1s
対応ガス種 He4,He3,H2
ヘリウムバックグランド除去機能 自動/マニュアル
オペレータインターフェース カラータッチパネルディスプレイ
対応言語 7ヵ国
(日本語/英語/フランス語/ドイツ語/イタリア語/中国語/韓国語)
起動時間 <2min, 3.5min(自動感度校正含時)
吸気口形状・サイズ NW25 ISO KF
外形寸法 350×245×414(mm)
重 量 21kg
ユニバーサル電源 100-240VAC-50/60Hz
最大消費電力 300VA
稼働環境温度 10~40℃

お問い合わせ

レンタル費用等に関しては、

産業機器部 営業一課(TEL:045-540-3201)

までお問い合わせください。
また、検査方法等のご相談もございましたらお問い合わせください。

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