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真空機器

ASM 340シリーズは、メンテナンスから少量生産環境まで、さまざまな用途での真空リーク検出およびスニファーリーク検出において最高の性能を約束します。定性的なリーク箇所特定と定量的なグローバルテストまたはローカルテストに使用できる、信頼性の高いリークディテクターです。

特 長

・クラス最短のテスト時間を実現。
・大容量補助ポンプにより、あらゆる用途に対応。
・ 高いヘリウムポンピング速度により、短い応答時間を実現。
・ 100 hPa(104Pa)以上という類を見ないリーク検出能力。
・ 5×10-10Pa m3/sというヘリウム最小検出可能リークレートにより、スニファーテストモードで優れた結果を得ることが可能。
・ 記録、ダウンロード、およびパラメーターの設定を行うSDメモリカードを内蔵。
・ 取り外し可能なカラーコントロールパネル。
・ 使い易くカスタマイズ可能なインターフェース。
・ すべてのI/O機能とProfibus通信機能を備えています。(オプション)

用 途

・研究開発・宇宙産業
・機械工学・計測分野
・冷蔵庫・空調
・半導体産業・その他多数

仕 様

ASM340 ASM340D ASM340I
粗びきポンプ 油回転ポンプ ダイヤフラムポンプ
粗びきポンプ排気速度 15m3/h 3.4m3/h
最大消費電力 850W 600W 350W
供給電力 90-130V、50/60Hz
200-240V、50/60Hz
90-240V、50/60Hz 90-240V、50/60Hz
重量 56kg 45kg 32kg
使用環境温度 0-45℃(真空法)
0-40℃(スニファー法)
0-35℃ 0-40℃
テストポートフランジ DN25KF(NW25)
測定方法 真空法、スニファー法
測定可能ガス 4He、3He、H2
最少検知可能リークレート(スニファー法) 5×10-10Pa・m3/s
最少検知可能リークレート(真空法) <5×10-13Pa・m3/s
ヘリウム排気速度 2.5l/s
最大テストポート圧力 25hpa
立上り時間(20℃、校正なし) ~3分
I/Oインターフェース デジタル・アナログI/O、Relays
インターフェース RS232、イーサネット
対応言語 日本語、中国語、韓国語、英語、フランス語、ドイツ語、イタリア語、スペイン語、ロシア語
寸法 393×547×375mm

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