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真空機器

アディクセンの第3世代リークディテクタに強力なモデルが加わりました。
ASM380は、あらゆる測定レンジにおいて、早く正確なリークテストをお約束します。小さなフットプリントのボディに高いドライポンピング性能、高感度、機動性を装備。
オイルフリーでクリーンなASM380は、わずかな汚染も許さないクリーン環境における装置メンテナンスや製品のリーク検査を行うためのパーフェクトチョイスです。

特 長

・操作性抜群のプラットフォームに詰め込まれた、パワーと機動性
・大きなドライ排気能力(617L/min)
・比類なきヘリウム排気能力(7L/s)
・360°回転可能なカラータッチパネルディスプレイ
・簡単操作!直感的なナビゲーションメニュー
・SDカードスロット搭載。測定結果や各種パラメータの記録と再生
・メンテナンスコストを抑える新設計ターボポンプとフィラメントを搭載

用 途

・LED
・半導体
・太陽電池
・フラットパネルディスプレイの製造装置
・医療機器
・コーティング
・その他一般産業のリークテスト

仕 様

最小検出ヘリウムリーク量(真空法) 5x10-13Pa.m3/s
最小検出ヘリウムリーク量(スニファ法) 1x10-8Pa.m3/s
最高テスト圧力(真空法) 1500Pa
ヘリウム排気速度(真空法) 7L/s
寸 法 1065×455×1025(mm)
重 量 110kg
吸気口サイズ NW40 ISO-KF
電源 90-240VAC-50/60 Hz
主な機能 自動校正(温度補償付き内部校正リークによる)
オートゼロ機能
バックグランド抑制機能
3段階の真空測定モード(グロス、ノーマル、高感度)
可変ピッチ音響アラーム
9ヶ国音声ガイド
自己診断機能
RS232及びI/Oインターフェース
3mass(He4,He3,H2)
カラータッチパネル(360°回転可)

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アペックス株式会社 〒106-0031 東京都港区西麻布3-21-20 霞町コーポ 310号
TEL:03-3478-3536 FAX:03-3402-4838

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