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真空機器

5~60m3/h(90~1000l/min、50Hz)さまざまな性能要求にもっともマッチします。
用途目的に対応したシリーズよりお選びください。

特 長

・長寿命
・容易なメンテナンス
・幅広いラインアップ

用 途

SDシリーズ

・非腐食性用途に適した標準ポンプ
(凝縮しやすい気体を排気する必要がある場合、あるいは低い圧力が必要ない用途向けの1段ポンプもございます)

Iシリーズ

・分析機器用に開発された機種

C1シリーズ

・腐食性ガス用に設計された耐久性を備えた機種

C2シリーズ

・半導体産業におけるほとんどの腐食性ガスに対応するように設計された機種

用途選別ガイド

各専用シリーズの名称 SDシリーズ Iシリーズ C1シリーズ C2シリーズ
残留ガス分析(RGA)
リーク検知
質量分析機器
その他の分析機器
電子顕微鏡
表面分析機器
遠心分離機
医療用滅菌機器
電子管
ネオンサイン管
ランプ、電球
ブラウン管(CRT)
冷凍
空調
乾燥
蒸留
冶金
凍結乾燥
CVD、PECVD
イオン注入
ドライエッチング
ロードロック
極低温工学
ガス回収
酸素排気

●:推奨 ○:適用可能
上の表は用途別の一般的なグループに推奨されるポンプを示すものです。動作サイクル、温度、腐食性ガス濃度などのパラメーターによっては異なる可能性があります。さらに吸気側や排気側にアクセサリーを使用することによって、ポンプの動作や寿命を改善できます。

仕 様

排気速度(50/60Hz) m3/h 5.4/6.5 9.7/11.6 15/18 20.7/24.8
l/min 90/108 162/193 250/300 345/413
SDシリーズ 2段 2005SD 2010SD 2015SD 2021SD
Iシリーズ 2段 2005I 2010I 2015I 2021I
C1シリーズ 2段 2005C1 22010C1 2015C1 2021C1
C2シリーズ 2段 2010C2 2015C2 2021C2
SDシリーズ 1段 1005SD 1015SD
排気速度(50/60Hz) m3/h 30/36 60/72
l/min 500/600 1000/1200
SDシリーズ 2段 2033SD 2063SD
C1シリーズ 2段 2033C1 2063C1
C2シリーズ 2段 2033C2 2063C2

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TEL:03-3478-3536 FAX:03-3402-4838

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